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低功耗硅基微热板GM-NSD-02

产品详情

GM-NSD-02是一款低能耗的硅基微热板,可用于微型气体传感器或其他加热型器件的研发。GM-NSD-02包含有两组焊点,一组为加热丝的引出,一组为插齿状测试电极。GM-NSD-02可耐受约700℃•的热处理,在经受热处理之后仍可引线邦定,但加热丝的阻值会有所上升,金属的表面光泽度会有所降低。
 
 

传感器特点

1.微热板采用MEMS工艺制作,为金属氧化物半导体气体传感器提供了一个可靠的平台,能耗低、加热响应快。
2.微热板采用悬膜式结构,包含一层坚韧的二氧化硅膜,里层包覆S型铂作为加热丝为金属氧化物提供合适的工作温度。微热板的使用温度高达400℃,同时可根据铂的电阻温度系数计算核心区的温度其热响应时间只有数毫秒。
 

主要应用

可用于微型气体传感器或其他加热型器件的研发

技术指标

 
GM-NSD-02的芯片尺寸为:1.0×1.0×0.3mm,其中加热区的面积为0.3×0.3mm,悬膜的尺寸为0.6×0.6mm

PS:如果有另外需求,可订制!
 

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