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F2000系列皮拉尼真空传感器

产品详情

F2000系列MEMS皮拉尼真空传感器提供了一个突破性的真空测量方案。该传感器外形微小,同时又具有超低功耗,长寿命,低现场维护,和低成本的优点。 该加热元件(即测量电阻)是由一个置于一张隔热膜上的铂薄膜电阻构成。隔热膜悬覆在一个微加工的25祄深空腔上,空腔底部表面与隔热膜平行,以确保精密测量传热率。由于被测气体体积极小(即空腔容积小),能够提供超低的功耗和快速的响应时间。

传感器特点

超低功耗<5毫瓦 
快速响应时间<5毫秒 
耐冲击至1000g 
可测量气体体积最低至0.1 cm3
低噪声
高分辨率
同一芯片上进行温度传感
长期稳定
可用溶剂浸泡清

主要应用

分析仪器
使用前级真空的封闭系统的检漏
半导体设备
真空包装机
便携式数字真空计
小型机械系统(如泵)以达到规定的真空度
低成本真空开关来验证1托以下的真空度

技术指标

工作温度:-40 °C至125°C (可提供更高温度型号)
 
湿度:0到100%RH,非冷凝
 
耐冲击性:1000g
 
超压:27.5Bar
 

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